技術(shù)文章
Technical articles等離子去膠機(jī)是半導(dǎo)體制造、微電子加工及科研領(lǐng)域中用于去除光刻膠、表面清洗和改性的關(guān)鍵設(shè)備。為確保其高效穩(wěn)定運(yùn)行,延長使用壽命,需采取科學(xué)合理的保養(yǎng)措施。以下從多個(gè)方面詳細(xì)闡述等離子去膠機(jī)的保養(yǎng)方式:一、日常清潔維護(hù)每次使用后,應(yīng)及時(shí)清理設(shè)備表面的灰塵和雜質(zhì),防止其進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部影響性能。可使用無塵布或吸塵器清除氣路和電路周圍的雜物。定期對(duì)腔體進(jìn)行深度清潔,去除內(nèi)部積累的污垢和殘留物??刹捎脵C(jī)械擦拭結(jié)合溶劑清洗的方式,但要注意避免使用腐蝕性強(qiáng)的溶劑,以免損壞腔體材質(zhì)。對(duì)于頑固污漬...
1、濕敏傳感器如何在不同壓力或濕度的情況下精準(zhǔn)控制器件的電阻、電容?首先,測(cè)試濕度傳感器需要用到氣體加濕設(shè)備,濕度控制器是通過質(zhì)量流量計(jì)控制氣體流量計(jì),混合飽和蒸汽壓和干空氣,精確控制5-95%RH濕度,來精準(zhǔn)測(cè)試器件在不同濕度環(huán)境下的電信號(hào)。加濕氣體出來后通入到真空探針臺(tái)內(nèi),內(nèi)置傳感器器件,探針接觸傳感器的PAD或者電極上,外接電信號(hào)測(cè)試設(shè)備。傳感器在接觸濕度氣體后,電阻/電容的電學(xué)信號(hào)會(huì)因?yàn)椴煌臐穸犬a(chǎn)生變化。再通過電信號(hào)測(cè)試設(shè)備顯示出實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。2、如果要控制腔體內(nèi)水分子...
小型等離子去膠機(jī)清洗機(jī)基于等離子體的性質(zhì)展開工作。等離子體被稱為物質(zhì)的第四態(tài),是由大量帶電粒子組成的電中性體系。其具體工作流程如下:1.產(chǎn)生等離子體環(huán)境:在設(shè)備內(nèi)部,通過特定的氣體放電過程產(chǎn)生等離子體環(huán)境。通常選擇氧氣、氬氣或者氟化物氣體等合適的工藝氣體,這些氣體在高頻電場的作用下電離,形成等離子體。2.活性粒子與光刻膠反應(yīng):當(dāng)帶有光刻膠的晶圓、玻璃基板或其他工件被送入設(shè)備的腔室時(shí),等離子體中的活性粒子就會(huì)與光刻膠發(fā)生反應(yīng)。例如,氧等離子體可以通過化學(xué)反應(yīng)將光刻膠分解為二氧化...
1、定期檢查和校準(zhǔn):首先,定期的檢查和校準(zhǔn)是維護(hù)氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)。一般來說,建議每六個(gè)月到一年進(jìn)行一次校準(zhǔn)。當(dāng)然,具體的頻率還要根據(jù)使用環(huán)境和氣體種類來決定。如果你的氣體質(zhì)量流量計(jì)經(jīng)常處于極1端環(huán)境中,比如高溫或高壓,那么就需要更頻繁地進(jìn)行校準(zhǔn)和檢查。2、清潔至關(guān)重要:在清潔時(shí),務(wù)必要使用推薦的清潔劑和工具,避免使用腐蝕性強(qiáng)的物質(zhì)。通常情況下,用柔軟的布和適當(dāng)?shù)那鍧崉┹p輕擦拭表面就能達(dá)到不錯(cuò)的效果。此外,確保流量計(jì)的測(cè)量管道沒有任何阻塞,保持通暢也至關(guān)重要。3、監(jiān)測(cè)運(yùn)行狀...
以下是關(guān)于蒸發(fā)鍍膜儀校準(zhǔn)方式的詳細(xì)指南,涵蓋校準(zhǔn)原理、關(guān)鍵參數(shù)、操作流程及常見問題解決方案:一、蒸發(fā)鍍膜儀概述與校準(zhǔn)意義蒸發(fā)鍍膜儀通過物理氣相沉積(PVD)技術(shù),在真空環(huán)境下將材料(金屬/化合物)加熱蒸發(fā)后凝結(jié)于基材表面形成薄膜。其核心組件包括真空腔體、蒸發(fā)源(電阻/電子束)、膜厚監(jiān)測(cè)儀、溫控系統(tǒng)等。校準(zhǔn)目的:確保膜層厚度均勻性(≤±3%)、成分純度(雜質(zhì)二、校準(zhǔn)前準(zhǔn)備工作1.環(huán)境條件確認(rèn)-潔凈度:操作間需達(dá)到萬級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn),避免微粒污染。-溫濕度:溫度20&pl...
真空壓力控制在旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)實(shí)驗(yàn)中具有顯著的優(yōu)勢(shì),它能極大地提高實(shí)驗(yàn)的效率、安全性、重現(xiàn)性和產(chǎn)物質(zhì)量。以下是主要的優(yōu)勢(shì):1.保護(hù)熱敏性化合物:原理:在真空條件下,液體的沸點(diǎn)會(huì)顯著降低。通過精確控制真空度,可以將溶劑的沸點(diǎn)降低到遠(yuǎn)低于其常壓沸點(diǎn),甚至可以在室溫或接近室溫的條件下進(jìn)行蒸發(fā)。優(yōu)勢(shì):這對(duì)于處理對(duì)熱敏感的化合物(如蛋白質(zhì)、酶、天然產(chǎn)物、某些藥物中間體等)至關(guān)重要,可以避免因高溫導(dǎo)致的分解、降解或異構(gòu)化,從而保護(hù)產(chǎn)物的活性和結(jié)構(gòu)完整性。2.防止暴沸和起泡(Bumping/Foa...
鄭科探拉曼電壓測(cè)試臺(tái),大氣探針臺(tái)主要用于半導(dǎo)體電極中的電信號(hào)測(cè)試。大氣探針臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在樣品臺(tái)面,探針頂1尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處,外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來測(cè)試電學(xué)信號(hào),方便大氣環(huán)境下測(cè)試。大氣探針臺(tái)與拉曼光譜聯(lián)用技術(shù)是近年來材料表征領(lǐng)域的重要進(jìn)展,為在可控大氣環(huán)境下實(shí)現(xiàn)微區(qū)、原位、無損的光學(xué)與電學(xué)綜合測(cè)試提供了強(qiáng)大工具。該技術(shù)將高精度機(jī)械定位、多探針電學(xué)測(cè)...
石英管封管機(jī)采用專門設(shè)計(jì)的密封系統(tǒng)和加熱裝置,能夠快速完成封裝過程,同時(shí)保證密封效果良好,確保石英管的穩(wěn)定性和可靠性;可以處理不同規(guī)格和尺寸的石英管,滿足多樣化的應(yīng)用需求;結(jié)構(gòu)簡單,易于操作和維護(hù),用戶可以根據(jù)操作手冊(cè)輕松上手。對(duì)于處理粉末顆粒的真空封口,采用了高精密的擋板閥并增加了分流閥,有效防止粉末倒吸,避免因操作不當(dāng)導(dǎo)致泵組損壞;使用分子泵或進(jìn)口泵,一旦泵組損壞,返廠維修周期較長,影響實(shí)驗(yàn)進(jìn)度。而石英管封管機(jī)的設(shè)計(jì)使得維護(hù)更加便捷,減少了停機(jī)時(shí)間。配備控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)對(duì)...